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微显示技术

微显示技术

李星

1.引言

微型显示器是一种小于一英寸的显示装置，近年来在学术研究和产业应用领域引起了广泛关注。微型显示器技术在增强/虚拟现实、车载抬头显示器和可穿戴设备等领域的应用越来越明显。此外，微型发光二极管技术在医疗、感测和通讯领域也具有巨大潜力。

微型显示器可以使用多种技术制造，包括Mini-LED、Micro-OLED、Micro-LED和QD Micro-LED等技术。最近，《Advanced Optical Materials》期刊发表了一篇综述文章，对适用于微型显示器的各种显示技术进行了总结，并讨论了各自的技术路线、优势和挑战，以及对微型显示器的展望。该综述文章的作者是Wem-Chien Miao，第一通讯作者是香港城市大学的何志浩博士，第二通讯作者是台湾阳明交通大学的郭浩中博士，与南方科技大学的刘召军博士、台湾台北科技大学的钟仁杰博士、台湾中正大学的叶志庭博士以及产业界人士共同合作完成。

本文将简要总结该综述文章的内容，以帮助读者更深入地了解微型显示器和不同的显示技术。

2.微型显示技术的分类

尽管Mini-LED、Micro-OLED和Micro-LED这三种技术都属于自发光显示技术，但它们之间存在着巨大的差异。

图1 (a) Mini-LED (b) Micro-OLED (c) Micro-LED和QD-MicroLED 的结构示意图

Mini-LED（图1a）大多数情况下仍属于液晶显示器（LCD）的背光源，保留了偏光层、液晶层和滤光片等LCD显示器的结构。由于该技术相对成熟，成本相对较低，因此在市场上可以找到相关产品。

Micro-OLED（图1b）是一种自发光器件，采用了硅基OLED（OLEDoS）技术，将互补式金属氧化物半导体（CMOS）和OLED显示器集成在一起，并通过图案化的方法制造微米级全彩像素。Micro-OLED具有出色的光学性能，但由于有机材料需要良好的保护，其结构相对复杂。

Micro-LED（图1c）则摒弃了复杂的封装要求，具有最简单的结构，并具备超越其他两种技术的性能。然而，由于大规模转移的高成本以及芯片尺寸减小导致的效率降低等问题，Micro-LED技术尚未得到大规模应用。

3.各显示技术之优劣及技术发展

3.1.Mini-LED

使用Mini-LED背光单元的液晶显示器可以实现具有高动态范围（HDR）、高峰值亮度、薄型外观和相对Micro-OLED及Micro-LED更低成本的显示效果。尽管Mini-LED的光学性能相对于传统液晶显示器有所改善，但仍然略逊于自发光技术。

图2

为了进一步提高亮度和均匀性，可以通过使用功能性薄膜结构来优化光学设计。例如，通过使用量子点作为色转换层，并在色转换层下方放置二色镜反射层，可以增加光萃取效率，使白光、红光、绿光和蓝光的亮度分别提高31%、67%、28%和8%。

此外，使用微透镜阵列可以使亮度均匀性达到85%；图2b中的消光层采用了SiO2/石墨双层结构，有效降低环境光反射并增强明室对比度。图3c展示的是一种新型光扩散层，在使用该组件后蓝光的均匀性得到了大幅提升。

图3

当Mini-LED应用于微型显示器时，响应时间、视野范围（FOV）和光晕效应是亟待解决的问题。例如，在图3a中，可以通过错位Mini-LED像素和薄膜晶体管来优化调光区域的面积与像素面积之比，从而减少光线从亮区泄漏到相邻的暗区。在Mini-LED上放置一个半透明层也可以扩展视角，图3b中通过五对交替堆叠的SiO2/TiO2半透明层，将视角增加到60°并保持高亮度。

Micro-OLED

Micro-OLED融合了Si-CMOS和OLED等技术，具有超高分辨率、宽色域、高对比度和快速响应时间等优点。

然而，受限于有机材料的缺点，Micro-OLED的亮度、功耗、均匀性和可靠性相对较弱。其中最明显的弱点是其只允许较低的通过电流密度，导致亮度不足。针对这个问题，不同的研究团队尝试了各种方法，其中最常见的方法是通过光学结构提高光萃取效率，包括使用高反射率的阳极材料如钛氮化物（TiN）（图4a）和周期性调制的Si-SiO2光栅阳极，以及使用微透镜阵列（图4b）。

传统的Micro-OLED采用彩色滤光片对白光OLED进行色转换，但这会严重损失器件在特定电流或电压下的亮度。因此，一些团队直接绘制RGB亚像素以消除滤光层，从而大幅提高亮度（图4c,d）。

图4

此外，通过多层堆叠的Micro-OLED结构可以使亮度与堆叠数成比例增加，而无需以更高的电流密度工作。然而，该设计更加耗电，并且需要复杂的光学设计，例如利用分布布拉格反射层滤光片以增加光萃取效率。

对于Micro-OLED在可靠性方面，一种方法是通过上述提高亮度的方法降低电流密度。另一种方法是采用由厚电子传输层（ETL）和薄空穴传输层（HTL）组成的新型Micro-OLED器件结构。薄的HTL可以提高空穴传输率，而厚的ETL可以降低电子传输率，调整两者的厚度以达到载流子平衡，从而提高器件的寿命。

图5

Micro-LED

Micro-LED几乎结合了液晶显示器和有机发光二极管的优点，如高亮度、高对比度和可靠耐用。然而，随着LED芯片尺寸的缩小，效能的下降和更复杂的工艺为大规模应用带来了不少挑战。

图6

当Micro-LED的尺寸缩小到一定程度时，侧壁面积占表面面积的比例大幅增加（即表面面积/侧壁面积），这会引发结构损伤、污染或悬空键等表面缺陷，从而降低内部量子效率（IQE）。

目前已经开发了一些方法，如封装和化学处理，以减轻这一问题的影响。例如，使用原子层沉积法（ALD）在侧壁上镀上SiO2钝化层来抑制侧壁缺陷。研究表明，经过封装的20微米×20微米的蓝光Micro-LED相较于未封装的器件，其外部量子效率（EQE）从24%提升到33%。（图6a, b）。

也可以通过利用中性束刻蚀（NBE），避免在刻蚀过程引入的侧壁缺陷，使尺寸效应的问题缓和。同时，NBE工艺得出的刻蚀角度也比ICP小，在微型装置上存在优势。（图6c, d）

Micro-LED同样可透过优化光学设计，例如加入DBR结构，调整Micro-LED芯片锥角，或圆形化设计去提升电流扩展及光萃取效率。

红光Micro-LED一直是各个颜色中量子效率最低的。AlInGaP基LED在高温下会不稳定，故此新型InGaN基红色LED因其尺寸效应影响小以及较低的波长漂移最近受到相当大的关注。

另一方面，不少团队亦在研究不需要颜色转换层的全彩微型LED。例如利用多量子阱结构（MQWs），如InGaN/GaN MQW加上Mg掺杂的p-GaN覆盖层，或者通过Eu掺杂的GaN和InGaN量子阱，根据电压大小可以在一定范围调整发光颜色。亦有团队透过多孔GaN基底制造出小于10微米的可调光MicroLED器件。此外，亦有基于二维材料层转移技术制造的垂直堆叠微型LED。

然而，目前要量产Micro-LED的最大难题是在Micro-LED的巨量转移。因为制程良率不高的原因，导致成本不能被市场接受。图7总结了目前常见的转移方式。

目前常见的巨量转移技术，包括基于弹性体转印、卷对卷转印技术、基于激光的转移和基于流体的自组装等。弹性体转印的好处高转移率，但速度及可重复性较差。卷对卷技术则较为适合柔性屏幕，并可以透过转移循环提升转移量和准确性。激光转移技术具有高转移速度的优势，但激光源仍有机会对转移的稳定性造成影响。自组装技术具有很好的潜力，包括转移速度和成本，但目前该技术仍未成熟。

图7

QD Micro-LED

MicroLED距离量产仍然有一大段距离，目前已有不少团队或公司转向开发基于量子点（QD）色转换的QD MicroLED。

QD是人工纳米尺度的半导体晶体，具有窄发射带宽和宽色域的优势。透过采用紫外波段C（UV-C）LED或深蓝色LED作为激发光源，再透过QD转换成较长波长的可见光，从而达到全彩显示。但蓝光渗漏是基于QD器件的一大问题，这会导致效率下降及颜色偏差。

在QD Micro-LED的设计上，可以透过嵌入QD的纳米多孔GaN结构，以提高光转换效率（LCE）。得益于多重光散射，纳米多孔结构中的QD能吸收的可能性，并增加了激发QD的可能性。另一种方法是回收未使用的泄漏蓝光或紫外光，通过能够多次反射入射波长的回收反射颜色纯度增强膜，例如反射颜色纯度增强膜（RCPEF）、DBR膜或胆甾液晶（CLC）聚合物膜。

图9

目前已发展出各种方法来制备QD薄膜，例如纳米压印、精细金属掩模、微接触印刷、光刻和喷墨打印。然而，微接触印刷、纳米压印和光刻技术在加工效率低、转印不可预测、腐蚀过度和成本高等问题。此外，细金属掩模方法和喷墨打印与细于10微米的特征图案不兼容。有研究团队使用弹性体辅助干法制备高分辨率的QD图案。在剥离过程中，除了沉积的QDs外，底部结构PMMA层将被剥离。然后，可以获得图案化的QD小像素。（图9b）

相对Micro-LED， QD Micro-LED的可靠性受限于QD的可靠性。有见及此，已经有多个方案被提出，以提升QD Micro-LED的寿命。其中包括：使用NaCl离子晶体作为QDs的保护层；或通过ALD进行的封装层，以防止水解。

这些最新技术为微型显示技术提供了充满希望的未来。设备的光学性能参数，如亮度、功耗、均匀性和对比度，直接影响将LED组合成显示器的限制。同时，为了追求高沉浸感，仅增加亮度范围是不够的，像素密度和宽且稳定的色域坐标也是必不可少的。除了提高显示性能，整体系统体积的缩小、低功耗、价格合理和长时间稳定运行逐渐成为基本要求。

图10

对于AR系统而言，显示旨在实现透明显示系统，将图像与物理环境重叠，故此显示的亮度应高于环境光。

VR对于系统尺寸、功耗和对比度的要求相对较低，这意味着可以适当牺牲这些参数以换取分辨率的改进。

可穿戴设备，如智能手表或智能手环，需要非常高的柔性，并且需要具有良好的离轴性能，以抑制各种观看角度下的颜色偏移。

对于HUD，可靠性和阳光下的良好可读性对于驾驶安全至关重要。此外，汽车显示器需要能够在广泛的工作温度范围内正常工作。

总括而言，Mini-LED、Micro-OLED、Micro-LED和QD Micro-LED各有优劣。Mini-LED芯片尺寸较大，发旋光性能好，且成本低，但其与LCD的结合存在光晕和响应速度慢等问题。Micro-OLED在柔性屏幕和高分辨率方面占优，但材料稳定性和寿命问题仍待解决。Micro-LED具有高稳定性和长寿命，适用于户外应用，但其成本高且研发尚未完成。QD-micro-LED有可能实现高亮度和颜色饱和度，但其量子点的可靠性和蓝光滤漏问题尚待改善。各技术在应用如增强现实、虚拟现实等方面都面临各自的挑战。

全球主要Micro OLED厂商

随着苹果Vision Pro发布，其搭载的Micro OLED显示技术也进入更多人的眼帘。事实上，全球Micro OLED显示厂商已经耕耘多年。近年来，中国厂商在这一领域的动作则尤显频繁。

那么，各家厂商进展如何，推出了哪些产品，获得了哪些应用？相信本文对您了解全球Micro OLED厂商基本情况一定有所帮助。

eMagin

eMagin Corporation创立于1996年，总部位于美国纽约，是Micro OLED微显示技术领军企业，为军事、消费、医疗和工业市场的世界级客户提供服务。2001年以来，eMagin的微显示器被用于AR/VR、飞机驾驶舱、平视显示系统、热成像仪、夜视镜、未来武器系统和各种其他应用。eMagin最先进的制造工厂位于纽约州Hopewell Junction，拥有超过3900平方米的制造空间，其中包括1580平方米的10级洁净室。2022年，在商用微显示器需求提升的情况下，eMagin全年营收达到3050万美元（约合人民币2.10亿元）。

2023年5月，eMagin宣布与三星显示器达成最终合并协议，三星显示将以2.18亿美元价格收购eMagin。

eMagin Micro OLED产品一览（数据来源：eMagin官网）

奥雷德

云南北方奥雷德光电科技股份有限公司成立于2008年，位于云南省昆明市，是一家专注于生产和销售AMOLED微型显示器的企业。

奥雷德于2009年5月14日贯通生产线工艺，制备出了第一片全彩色OLED微型显示器样片，并通过了技术鉴定，其产品技术指标达到国际领先水平，2010年3月第一片合格产品下线，进入小批量试制阶段，2014年首次实现扭亏为盈，2015年11月在新三板挂牌，2017年销售收入突破一亿元。

经过持续创新和刻苦攻关，公司已成为能够批量生产和销售AMOLED微型显示器的专业厂商，使中国成为继美国之后，全球第二个掌握AMOLED微型显示器研发技术及批量生产的国家。目前公司可以提供WVGA/SVGA/SXGA分辨率的彩色、白光和高亮绿光AMOLED微型显示器系列化产品及模组,产品广泛应用于观察、头配、监视、模拟训练系统以及工业检测、医疗器械、AR/VR/MR、消费电子等领域。

奥雷德Micro OLED产品一览（来源：奥雷德官网）

索尼

索尼于2009年开始研发为后来Micro OLED奠定基础的显示技术，目的是应用于相机电子取景器。

2023年6月，苹果发布Vision Pro，搭载两块索尼Micro OLED显示屏，尺寸为1.42英寸，分辨率为3648×3144，像素密度为3391ppi，模组亮度最高可达到6000尼特。据报道，这块高规格的Micro OLED屏幕售价同样很高，单块屏幕成本达350美元。并且，索尼的产能也有限，有报道称每年只能供应90万块。

索尼Micro OLED产品一览（来源：索尼半导体解决方案官网）

MICROOLED

MICROOLED公司创立于2007年，总部位于法国格勒诺布尔，致力于高分辨率Micro OLED微显示器开发制造。2012年1月，MICROOLED宣布推出首款0.61英寸的具备540万像素的微显示器；2012年8月，意法半导体向MicroOLED投资600万欧元，两家公司启动了合作开发工作。2015年，MICROOLED宣布已售出超过150,000颗0.38英寸WVGA微型显示器。2020年，MICROOLED宣布融资800万欧元，加速消费级AR解决方案的研发。

KOPIN

Kopin Corporation创立于1984年，总部位于马萨诸塞州韦斯特伯勒，自 1990年以来一直为军事、企业、工业、医疗和消费类可穿戴产品提供LCD、LCoS和OLED微显示器。

2023年3月，Kopin宣布在F-35战机专用头盔显示系统（HMDS）项目上获得重要进展，已完成OLED微显示器的性能测试。

Kopin的身影也出现在中国Micro OLED厂商的成立过程中，昆明京东方显示技术有限公司（现名为“云南创视界光电科技有限公司”）、湖畔光芯的成立都有Kopin参与。

Kopin Micro OLED产品一览（数据来源：Kopin官网）

京东方

2017年8月22日，京东方发布公告，宣布与奥雷德、云南省滇中产业发展集团、高平科技合作，共同投资11.5亿元人民币在云南省昆明市建设国内首条大型OLED微显示器件生产线项目，成立昆明京东方显示技术有限公司（现名为“云南创视界光电科技有限公司”），从事OLED微显示器件的生产、销售及研发。

2019年12月26日，京东方再发公告，为满足AR/VR高端市场需求，提升项目公司竞争力，拟投资34亿元，用于12英寸OLED微显示器件生产线建设。设计产能：12英寸晶圆每月投入量1万片。主要产品：0.99英寸、1.31英寸OLED微显示器件。

2021年3月，京东方在投资者互动平台披露：“云南创视界光电8英寸硅基Micro OLED生产线于2019年8月实现量产，目前正在产能爬坡中；新组建的12英寸Micro OLED生产线分3期进行，预计将于2024年1月全部完成，设计年产能为523万片。”

2023年5月，京东方1.3英寸4K（3552×3840）Micro OLED显示器于SID Display Week首发亮相。

视涯科技

视涯科技股份有限公司创立于2016年10月，2017年9月，公司在合肥新站高新区成立合肥视涯显示科技有限公司，总投资超20亿元，其中一期投资12.8亿元，占地面积55亩，总建筑面积43,000平方米，其中固定资产投资超10亿元。专注于12英寸晶圆硅基OLED微型显示组件研发生产。一期项目月投片量可达9000片。2019年11月21日，合肥视涯项目正式投产。

2020年11月，合肥视涯技术有限公司宣布完成了首次批量订单的交付。

视涯科技Micro OLED产品一览（数据来源：视涯科技官网）

2022年8月25日，大疆发布全球首款采用Micro OLED屏幕的消费级FPV飞行眼镜Goggles 2，采用视涯研发和生产的0.49” 1920x1080 Micro OLED微型显示屏。

梦显电子

昆山梦显电子科技有限公司成立于2018年，是苏州清越光电科技股份有限公司（原为昆山维信诺）子公司。根据2020年“昆山梦显电子科技有限公司OLED微显示器生产项目”环境影响评价报批前公示文件，该项目总投资3.6亿元，进行OLED微显示器生产项目，拟购置大蒸镀设备、清洗机等设备。项目预计2020年6月投产。项目完成后，预计年产OLED微显示器60000大片。清越科技2022年年报显示，梦显电子硅基OLED微显示器8英寸晶圆量产线2022年已开始向客户批量出货，2022年营收为1800万元。

观宇科技

台州观宇科技有限公司成立于2020年，公开信息显示，观宇科技是台州湾新区创王公司uNEED总部基地项目建设单位。创王光电uNEED总部基地项目总投资约100亿人民币，规划用地面积约660亩，分两期实施，首期投资约10亿元，项目顺应5G时代的需求，建成后将为AR/VR设备提供超高像素密度AMOLED微显示产品。2021年8月10日观宇科技正式点亮模组元件与投产。

官网介绍称，观宇uNEEDXRTM技术摆脱了传统OLED微显示模组元件的白光加彩膜架构，采用自主创新的RGB自发光硅基OLED微显示技术，带给市场可同时满足超高像素密度（3147 PPI）、高亮度（>5000 nits)、高色彩饱和度(>NTSC100%)、高对比度(>2,000,000:1)、低功耗(<500mW@5000nits) 的RGB自发光硅基OLED微显示模组元件产品。

熙泰科技

安徽熙泰智能科技有限公司成立于2016年，位于安徽省芜湖市，致力于为全球用户提供优质的硅基Micro OLED微型显示器产品及技术支持。

2022年11月14日，熙泰科技全资子公司芜湖微显智能科技有限公司12英寸硅基OLED微显示模组项目厂房封顶仪式举行。芜湖微显项目设计月产能18000大片12英寸晶圆，包含Micro OLED微显示屏生产及模组制造，预计2023年年底实现首片产品点亮。项目封顶标志着熙泰科技将成为同时拥有“8+12”英寸微型显示屏及配套模组生产线的微显示制造企业。

2023年5月，熙泰科技在SID显示周上推出多款Micro OLED微显示屏。最新推出的1.03英寸微显示屏，分辨率2560×2560，MIPI标准视频接口，亮度超2500nit，功耗较同尺寸同亮度产品降低40%以上。

此外还展示了0.49英寸（1920×1080）、0.39英寸、0.6英寸等Micro OLED显示屏。高性能0.49英寸、4K 1.2英寸、1.42英寸、1.7英寸产品持续开发中，预计2023年下半年至2024年相继亮相。

熙泰科技Micro OLED产品一览（数据来源：熙泰科技官网）

国兆光电

南京国兆光电科技有限公司成立于2019年，公司核心产品为硅基OLED微显示屏及其模组。根据2021年发布的《南京国兆光电科技有限公司年产50万台硅基OLED微显示器件项目竣工环境保护验收监测报告》，该项目投资2.6亿元，建设一条硅基OLED微显示器件生产线。项目完成后，形成年产50万台硅基OLED微显示器件的能力。

国兆光电Micro OLED产品一览（数据来源：国兆光电官网）

宏禧科技

浙江宏禧科技有限公司成立于2019年，专业从事硅基Micro OLED微型显示器件和模组研发、设计以及制造，位于义乌经济技术开发区。是国家科技型中小企业、浙江省示范性重大产业项目、金华市集成电路培育发展项目。

2023年2月7日，宏禧科技宣布建成一条12英寸硅基Micro OLED微型显示器生产线，进入商业化量产阶段。基于自主的IC设计能力，宏禧科技已设计完成多款型号的硅基Micro OLED微型显示器产品，其中包括正在量产的0.6英寸产品以及后续很快到来的全高清产品和4K级别产品。

宏禧科技Micro OLED产品一览（数据来源：宏禧科技官网）

睿显科技

南京睿显电子科技有限公司成立于2019年3月，专业从事OLED微型显示芯片研发；广西自贸区睿显科技有限公司成立于2021年8月，是南京睿显电子科技有限公司控股子公司，在北美/上海/深圳设有产品设计和研究院，产线坐落于广西钦州中马产业园区，专注于从事OLED微型显示芯片的研发、制造、销售。

2022年4月，广西自贸区睿显科技有限公司在钦州港片区开工建设。睿显科技微型显示芯片产业化项目占地约8000平方米，总投资3亿元，建设一条8英寸OLED微型显示芯片生产线，年产能达40万芯片。2023年3月30日项目正式投产。

睿显科技Micro OLED产品一览（数据来源：睿显科技官网）

湖畔光电

湖畔光电科技（江苏）有限公司成立于2017年4月。2023年5月24日，湖畔光电超高清、高亮硅基OLED微型显示器12英寸生产线项目工程开工仪式在中国宜兴环保科技工业园举行。项目总投资50亿元。一期投资30亿元，新增用地119亩，总建筑面积约10万平方米，主要包含超净智能制造车间、生产辅助设施及综合办公楼等，新建2条12英寸硅基OLED显示器生产线及1条研发线。预计2023年年底完成基建，2024年6月底完成超净智能制造车间装修，设备陆续搬入，预计24年四季度试生产。

项目主要量产低功耗、高分辨率1.31英寸硅基微型显示器产品，计划在3年内形成年产不低于900万粒1.31英寸硅基OLED微型显示器的规模。

2023年5月16日，湖畔光芯（湖畔光电子公司）宣布与松下电器达成合作。此前，湖畔光芯已与松下以及美国lighting silicon公司三方建立长期战略合作关系，松下新一代的智能VR眼镜产品MeganeX已搭载湖畔光芯的第三代Micro OLED显示器，产品预计将在2023年上市。

湖畔光电Micro OLED产品一览（数据来源：湖畔光电官网）

芯视佳

深圳市芯视佳半导体科技有限公司成立于2020年，是一家专注于硅基OLED IC设计及硅基OLED微显示屏研发制造的创新型科技企业。

2022年9月，芯视佳Micro OLED模组项目在安徽淮南正式开工，项目总投资1亿元，将建设洁净厂房约3000平方米，主要生产硅基OLED微显示屏，柔性OLED手机屏，车载显示屏模组，建成后年产值达2亿元以上。该项目现已投产。

2023年6月17日，芯视佳12英寸硅基OLED产业园项目在安徽淮南市高新区正式开工。项目总投资65亿元，其中一期投资15亿元，项目占地面积198.7亩。规划月产能达4000片晶圆，主要生产硅基OLED微显示屏，应用于AR/VR等领域，预计年产值达35亿元。两期完成投产后产值预计可达100亿元以上。项目计划于2024年7月份将搬入设备，12月份点亮产品，2025年正式进入量产阶段。

芯视佳Micro OLED产品一览（数据来源：芯视佳官网）

昀光科技

南京昀光科技有限公司成立于2019年，具备从显示驱动芯片设计研发到 OLED微显示器生产测试完整的研发制造体系。目前已研发出2.5K×2.5K超高清分辨率的硅基OLED微显示器。

华睿光电

根据环评文件信息，TCL华星子公司广州华睿光电材料有限公司建设的硅基OLED微型显示器项目主要生产AR、VR等产品的相关显示器件，年生产AR、VR等产品的相关显示器件2.4万片wafer、60万片die。

紫旸升光电

紫旸升光电科技（苏州）有限公司成立于2020年。2020年12月，山东淄博高新区管委会与紫旸升光电举行硅基OLED微型显示器项目签约仪式，项目总投资14.5亿元，分三期建设。

芯视元

南京芯视元电子有限公司成立于2017年，团队组建于2012年。公司产品主要有硅基LCoS微显示芯片、硅基OLED微显示芯片、硅基Micro LED微显示芯片、空间光调制器。

三星显示

2022年初，三星显示曾表示公司正在开发Micro OLED显示器，项目正处于早期开发阶段，公司将在2023年开始建设第一条生产线，2024年量产Micro OLED显示器，并在2025年扩大产能，以便在2026年实现全面商业化。

2022年12月，韩媒报道称三星已开始为300毫米中试生产线订购设备，设备供应商拟为SFA Engineering和AP Systems，生产线将位于韩国牙山的三星A2工厂。三星希望产线在2023年第一季度收到首台设备，并将在2023年底开始量产，月产能为6,400片晶圆，2024年产线开始全面生产。

2023年5月，eMagin宣布与三星显示器达成最终合并协议，三星显示将以2.18亿美元价格收购eMagin。

LG Display

2023年2月，韩媒报道称，Meta将与SK海力士和LG Display合作开发用于AR/VR头显的Micro OLED，Meta主要负责半导体设计，SK海力士负责晶圆生产，而LG Display则完成将OLED沉积在晶圆，并将其切割成Micro OLED面板的最后一步。

消息称，SK海力士的京畿道利川总部共有3条DRAM生产线，分别是M10、M14、M16。计划为Micro OLED生产晶圆的生产线是M10线，该生产线以12英寸晶圆为基准，每月可生产10万片。如果产品开发顺利进行，从2025-2026年将开始将每月生产3万块。另外，预计团队将利用28nm或45nm工艺节点生产Micro OLED晶圆。

爱普生

爱普生在OLED相关技术上有近20年的研究，已推出了多款搭载爱普生Micro OLED的智能眼镜。Epson推出的VM-40 AR光学模组搭载0.453英寸1920 x 1080的Micro OLED屏。

Fraunhofer FEP

德国弗劳恩霍夫有机电子、电子束和等离子体技术研究所（Fraunhofer FEP）是一家领先的国际研究机构，致力于开发电子束和等离子体技术以及有机电子和光电子领域的工艺和技术。

分辨率为1440*1080，像素尺寸为2.5µm的OLED微显示器

2021年，Fraunhofer FEP公布分辨率为QVGA 320×240级别的双色Micro OLED屏。在SID Display Week 2023上，Fraunhofer FEP展示了多个微型显示产品，其中包括号称世界上最小像素尺寸（2.5μm）的最新OLED微显示器。

注：文中Micro OLED产品表格信息皆来自各家厂商官方网站，最新产品请以各厂商最新实际情况为准。